手动/半自动曝光机 全自动曝光机 无掩膜光刻机 实验型◤光刻机 匀胶/显影设备 等离子刻蚀 量产型 等离子切◥割 量产型 PVD系统 量产型 PECVD系统 量产型 ICP 研发及▓小批量 RIE 研发及小批量 PECVD 研发及小批量 ALD 原子层沉→积 IBE/IBD 离子束刻蚀/沉积 XeF2 Release Etch HF Vapor Release Etch 氧化扩散炉▅ CMP研磨抛光系统 等离子去胶机 机械划片机 激光划片机

全自动球焊机 全自︽动楔焊机 全自动粘片机 半自动 手动引线键合机 半自动 手动粘片机 拉力剪〖切力测试仪 等离子清洗机 激光调╲阻设备 激光打标系统 真空烧№结炉 平行封焊机

台阶仪 (探针式) 原子力显微镜 纳↑米压痕测试仪 3D光学测量系统 晶圆薄膜应力测卐试仪 晶圆几何特性测试仪 扫描电镜 SEM 聚焦离◤子束 FIB MEMS动静态激光测振系统 真空 (变温) 探针台 手动 半自动 (变温) 探针台 双面测试探针台 飞针测试机∞ 氦质谱检漏仪 PIND颗粒噪声测试仪【 非接触影像测量仪 自动光学检○测系统 AOI X光检测系统 拉力剪切力测试仪

Etch CVD PVD Overlay Film Resistivity Profiler Wafer Geometry CD SEM Stepper CMP Wet Station Prober Tester Asher Furnace RTP Chiller

化学※源液输送系统 尾气处理系统 主动隔震台 电磁屏蔽系统 超低温冰々柜