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等离子切割量产型

产地：英国
品牌：SPTS

该系统处理模块具有较高的灵活性，可支持300mm晶圆并向下兼容。

1. 基于现有SPTS等离子刻蚀平※台
2. 相对于传统刀片切割有更大的产出，更高的良率
3. 系统可以搭载6个切割模块

如需了解更详细的设备信息，敬ω　请与我们联系。

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