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HF Vapor Release Etch

产地：美国
品牌：SPTS

集成的〇自动VHF蚀刻工具，旨在通过受控的无水HF /醇蚀刻▃工艺执行选择性MEMS蚀刻释放

1. 集成的紧凑型系统包括内置HF气柜▲以及全自动系统
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