产地：美国
品牌：Bruker
布鲁克 DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了较高的重复性和分辨率，垂直高〓度重复性高达5?。实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子≡器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
1. 扫描长度：55mm
2. 垂直分辨率：1?（在6.55um测量范围▲内）
3. 垂直测量范围：1mm
4. 台阶高度重复性：小于5?，1σ在1um标准台阶上
5. 探针压力：1-15mg
6. 单次扫描数据采样点：可达120000
7. 样品R-?载物台：360度手动旋转
8. 手ξ 动样品台：100mm*100mm (XY轴)可◆手动校平
9. 自动样品台 150mm*150mm,(XY轴)可手动校平
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