产地：德国
品牌：Polytec
德国Polytec GmbH是一家专业从事激光测振仪研究和生产的公司，它的非接触式激光测量技▂术在MEMS领域有广泛应用。
该系统功能强大，一套系统既可做MEMS器件动态测试，也可作MEMS器件静态结构测试，非常适合实验室的科技研发及批量生产测试使用。
1. 白光扫描技术用于静态测试MEMS表面特性
2. 实时动态多普勒激光扫描技术
3. 测试MEMS器件≡异面振动特性
4. 频闪显微技术动态测试MEMS器件共面位移
5. 动态测试MEMS器件√共鸣位移响应等特性参数
6. 动态测试MEMS器件的振幅，相位等特性参数
7. 系统集成的探针测试系统可★根据实际要求定制，例如，手动、半自动、双面探针台测试系统等。
如需了解更详细的设备信息，敬请与我们联系。
