产地：美国
品牌：Agilent
氦质谱检漏◣仪↑可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选∞择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻【并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。其主要特Ψ点如下：
1. 体积小巧，占地小，特别适合大学和研究所小批量研发应用
2. 可检№测漏率：5x10-12 mbar.l/s
3. 响应时间：<0.5秒
4. 可无线遥控操作
5. 具有RS232通信接口
如需要了解更ω详细的设备信息，敬¤请与我们联系。
