产地：英国
品牌：SPTS
我们可提供∞100mm到300mm的PVD系统:
1. 广泛应用于MEMS、先进封装、功率半导体、LED制造、RF集成电路等领◆域
2. 相比于单晶圆处理，STPS提供了批量处理的方式来提高产能和晶圆的性能
3. 有效的避免二次溅射，减少了颗粒污染
4. 全面积溅射，提高∑ 薄膜质量
5. 靶材快速切换（<5mins),与普▼通磁控溅射相比提高设备工作时间
6. 可靠的处理易碎，变薄，弓形晶圆
7. 具备Super Uniformity选项
如需了解更详细的设〖备信息，敬请与我们联系。
