手动/半自动曝光机 全自动曝光机 无掩膜光刻机 实验型光※刻机 匀胶/显影设备 等离子刻蚀 量产型 等离子切割 量产型 PVD系统 量产型 PECVD系统 量产型 ICP 研发及∑　小批量 RIE 研发及小批量 PECVD 研发及小批量 ALD 原子层沉积 IBE/IBD 离子束刻蚀/沉积 XeF2 Release Etch HF Vapor Release Etch 氧化扩散炉 CMP研磨抛光系统 等离子去胶机 机械划片机 激光划片机

全自动球焊机 全自动楔焊机 全自动粘片机 半自动 手动引线键合机 半自动 手动粘片机 拉力剪切力测试仪 等离子清洗机 激光调阻设备 激光打标系统 真空烧结炉 平行封焊机

台阶仪 (探针式) 原子力显微镜 纳米压痕测试仪 3D光学测量系统 晶圆薄膜应力测试仪 晶圆几何特性测试仪 扫描电镜 SEM 聚焦离子束 FIB MEMS动静态激光测︻振系统 真空 (变温) 探针台 手动 半自动 (变温) 探针台 双面测试探针台 飞针测试机 氦质谱检漏仪 PIND颗粒噪声测试仪 非接触影像测量仪 自动光学检测系统 AOI X光检测系统 拉力剪切力测试仪

Etch CVD PVD Overlay Film Resistivity Profiler Wafer Geometry CD SEM Stepper CMP Wet Station Prober Tester Asher Furnace RTP Chiller

点胶机器人 旋转∮点胶系统 丝印机 表面贴装设备 无铅回流炉∮ 超声气相清洗机 波峰焊