产地：美国
品牌：KSA
高效的薄膜热♂应力测量系统，具有MOS多光束技『术，使KSA公司荣获2008 Innovation of the Year Awardee！主要特点：
1.? 温度范围RT~1000°C，应力测量范围0.5MPa到4×100GPa，曲率ぷ重复性<2×10-5 1/m
2.? 样品快速热处理功能，样品快速冷却处理功能
3.? 温度闭环控制功能，保证较好的温度均匀性和精度
4.? 实时应力VS.温度曲线
5.? 实时曲率VS.温度曲线
6.? 程序←化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全╲面积扫描
7.? 成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析
8.? 测量功能：曲率、曲率半径、应力分布、应力和翘曲〒等
KSA晶圆薄膜应力测量基于不同应用，有多种规格可选，如需了解不同型号设备更卐详细的信息，敬请与我们联系。
