产地：美国
品牌：PVA Tepla
设备具有以下主要指标和特点
1. 整体机型紧凑型设计，占地面积小，但处理效率高，可一次装载25 片6 寸晶圆，可处理8 寸晶圆
2. 工业级电脑控制，Windows 操作系统，并有多语言操作界面，包括中文，方便卐中国用户的使用
3. 2.45 GHz, 600 瓦配置，去胶效率和质量优于一般的13.56 MHz, 300W 系统
4. 图形化的操作界面，
5. 系统可配备多↑路MFC
6. 网络远程故障诊断和排除
7. PVA等离子去胶机机基于不同应用，有多种规格可选
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